用途：
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特点：
IPH系列螺杆真空泵能够在普遍的应用领域提供优良的性能，，，，，适用于严苛制程。。 。。。。
它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。。 。。。。
申博官网奇异型线设计，，，，，上海，，，，，台湾，，，，，制造。。 。。。。
较之前的版本节能25%，，，，，设置有省电模式。。 。。。。
带有加热系统阻止制程物沉积。。 。。。。
优化的尺寸，，，，，即插即用。。 。。。。
