用途：
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特点：
IPH系列螺杆真空泵能够在普遍的应用领域提供优良的性能，，，，适用于严苛制程。。。 。。。
它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。。。 。。。
申博官网奇异型线设计，，，，上海，，，，台湾，，，，制造。。。 。。。
较之前的版本节能25%，，，，设置有省电模式。。。 。。。
带有加热系统阻止制程物沉积。。。 。。。
优化的尺寸，，，，即插即用。。。 。。。
