É격¹ÙÍø¼¯ÍÅÓÚ1994Ä꽨Éè·þÎñ´¦£¬£¬2007ÄêÉîÛÚA¹ÉÉÏÊС£¡£¡£¡£¡£¼ÃÄÏ¡¢¹ãÖÝ¡¢ÄϾ©¡¢ÖØÇì·Ö¹«Ë¾Ïà¼ÌÉèÁ¢£¬£¬×Ó¹«Ë¾Õ㽺ºÉù¡¢ÉϺ£¿£¿£¿Âï¡¢Ïã¸ÛÉ격¹ÙÍø¡¢Ô½ÄÏÉ격¹ÙÍø¡¢º«¹úÉ격¹ÙÍø¡¢Õ㽿ÂÃ¯Â½Ðø½¨Éè¡£¡£¡£¡£¡£ÕâÒ»ÇÐÌåÏÖÁËÉ격¹ÙÍøÈË27ÄêÀ´Óú¹Ë®ÐÁÇÚ¸û×÷µÄЧ¹û¡£¡£¡£¡£¡£
¿çÔ½27ÄêµÄÀúÊ·£¬£¬¿ªÆôÈ«ÇòÐÔÆóÒµÐÂδÀ´
ÓÃ;£º
Load Lock¡¢Transfer¡¢Metrology¡¢PVD¡¢Etch¡¢Ashing¡¢Litho¡¢Implant
ÌØµã£º
ÂÌɫ֯Ô졢ȫÐÂϵÁиÉÊ½Õæ¿Õ±Ã
Ìå»ýС¡¢ºÄ¹¦µÍ¡¢´ó·ù¶È½µµÍ±¾Ç®
ÓÃÓÚÖжÈÑÏ¿ÁÖÆ³ÌµÄ½ÚÄܱÃ
²úÆ·Ñù±¾ºÍÊÖÒÕÊÖ²á
Ãû³Æ
Ðû²¼Ê±¼ä
ÏÂÔØ
²úÆ·Íâ¹Ûͼ
Ãû³Æ
Ðû²¼Ê±¼ä
ÏÂÔØ